Klasifikacija pagal cheminį nusodinimą garų pavidalu
Yra daug cheminio nusodinimo iš garų būdų, tokių kaip atmosferos slėgis CVD (APCVD), žemo slėgio CVD (LPCVD), ypač aukšto vakuumo CVD (UHVCVD), cheminis garų lazerinis nusodinimas lazeriu (LCVD), metalo-organinių cheminių nusodinimų garų (MOCVD). , cheminės garų nusodinimo plazmoje (PECVD) ir kt.